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類別:超聲波干式除塵設(shè)備USC
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除塵頭里有一個超聲波發(fā)生腔和倆個真空吸附腔。塵粒在吸附層作用下粘附于玻璃基板表面,要想去除塵粒,必須克服塵粒的粘附力。
通過鼓風(fēng)機(jī),給除塵頭的超聲波發(fā)生腔提供8-16Kpa的潔凈氣體,氣體通過超聲波發(fā)生器產(chǎn)生超聲波,利用超聲波傳播的能量及振動,使塵粒克服玻璃基板表面的粘附力,以拉升、滾動及滑動三種運動方式(單一或混合)從玻璃基板表面脫離,使得塵粒從玻璃基板表面分離出來。
除塵頭的真空腔是用來吸附塵粒。當(dāng)塵粒從玻璃基板表面分離出來后,利用超聲波的反射將的塵粒帶動起來,運動的塵粒瞬間被清洗頭的真空吸附腔吸走,從而達(dá)到清洗玻璃表面塵粒的效果。
主要技術(shù)參數(shù) |
|
有效清洗長度 |
0-700mm |
工作風(fēng)壓 |
8-16KPa |
除塵頭到工件的距離 |
5mm以內(nèi),1.5mm最佳 |
除塵頭到機(jī)箱的管長度 |
10米以內(nèi) |
清潔效率 |
3um塵粒 97%的清除率,6um塵粒 98%清除率 |
吐出風(fēng)溫度 |
小于45℃ |
噪音 |
小于80分貝 |
工作電壓 |
3 相 380V 50/60Hz(可選配三相220V) |
設(shè)備功能 |
高低頻瞬時啟動,溫度監(jiān)控反饋,風(fēng)壓監(jiān)控反饋,頻率監(jiān)控,PLC控制,參數(shù)觸摸屏設(shè)定,可實現(xiàn)MES連接 |
測試條件 與 驗收方法 |
測試條件:在100級潔凈室內(nèi)完成,工作高度1.5mm,工作氣壓14KPa,清洗速度 80mm/s,3um間隔粉。 |
驗收方法:在潔凈的清洗玻璃上噴撒間隔粉,目視區(qū)域120-150粒,200倍顯微鏡檢測,清除率達(dá)97%以上。 |
工作間距:1.5mm.(出風(fēng)全部被吸回?zé)o泄漏的條件下,正壓為在除塵頭入口端口測量的內(nèi)部壓力)
型號 |
有效 寬幅 |
對應(yīng)機(jī)臺使用功率 |
P (出風(fēng)口) |
V (吸風(fēng)口) |
||
壓力(KPa) |
流量(L/min) |
壓力(KPa) |
流量(L/min) |
|||
USC-PT-100 |
100mm |
1.5KW |
8 |
800 |
-2 |
900 |
12 |
1000 |
-3 |
1100 |
|||
16 |
2000 |
-3 |
2500 |
|||
USC-PT-200 |
200mm |
1.5KW |
8 |
1500 |
-2 |
2000 |
12 |
2000 |
-3 |
2500 |
|||
16 |
2500 |
-3 |
3000 |
|||
USC-PT-300
|
300mm |
3.0KW |
8 |
2500 |
-2 |
3000 |
12 |
3000 |
-3 |
3500 |
|||
16 |
3500 |
-3 |
4000 |
|||
USC-PT-400
|
400mm |
5.5KW |
8 |
3200 |
-2 |
3500 |
12 |
3600 |
-3 |
4000 |
|||
16 |
4000 |
-3 |
4300 |
|||
USC-PT-700 |
700mm |
5.5KW |
8 |
5600 |
-2 |
6000 |
12 |
6000 |
-3 |
6300 |
|||
16 |
6500 |
-3 |
6800 |